2020年起任职于北京大学信息科学技术学院。
2019年当选中国工程院院士。
微电子工艺技术专家，主要从事我国集成电路芯片产业研究。1952年6月出生于上海市。1987年毕业于中国科学院力学研究所，获博士学位。
